對(duì)于數(shù)顯光柵尺來(lái)說,度和分辨率都是其很重要的兩大技術(shù)參數(shù),接下來(lái)小編簡(jiǎn)單為大家介紹一下這兩大參數(shù)的區(qū)別。 度指的是用同種備用樣品進(jìn)行重復(fù)測(cè)定所得到的結(jié)果之間的重現(xiàn)性,測(cè)量度(也常簡(jiǎn)稱精度)高,是指偶然誤差與系統(tǒng)誤差都比較小,這時(shí)測(cè)量數(shù) 據(jù)比較集中在真值附近,雖然度高可說明準(zhǔn)確度高,但的結(jié)果也可能是不準(zhǔn)確的,影響數(shù)顯光柵尺精度的因素主要有以下幾點(diǎn):
1、光學(xué)部分對(duì)精度的影響:1)光柵玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻線數(shù)、刻線精度、刻線寬度一致性等;2)光發(fā)射源—光的平行與一致性、光衰減;3)光接收單元—讀取誤差、讀取響應(yīng);4)光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響—污染,衰減。
2、機(jī)械部分對(duì)精度的影響:就軸承結(jié)構(gòu)而言,單軸承支撐結(jié)構(gòu)的軸承偏差無(wú)法消除,而且經(jīng)使用后偏差會(huì)更大,而雙軸承結(jié)構(gòu)或多支承結(jié)構(gòu),可有效降低單個(gè)軸承的偏差。
3、電氣部分對(duì)精度的影響:電源的穩(wěn)定精度—對(duì)光發(fā)射源與接收單元的影響,讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來(lái)的誤差,電氣噪音影響,取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的抗干擾能力。
4、光柵尺使用中帶來(lái)的精度影響:輸出電纜的抗干擾與信號(hào)延遲(較長(zhǎng)距離或較快頻率下);接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
而數(shù)顯光柵尺的分辨率是指光柵尺可讀取并輸出的zui小長(zhǎng)度變化,對(duì)應(yīng)的參數(shù)有:每毫米光柵刻線數(shù)、脈沖數(shù)、細(xì)分等。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不一樣,同等的50線光柵如果細(xì)分方法不一樣分辨率也會(huì)不一樣。
目前國(guó)內(nèi)光柵尺分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。以每毫米50線光柵為例,經(jīng)過4細(xì)分,就能得到很簡(jiǎn)單的5μm的分辨率,而不用采用電子細(xì)分,這也是目前國(guó)內(nèi)機(jī)床尺的多數(shù)工藝,至于高分辨率的光柵尺,就必須采用電子細(xì)分技術(shù),增加插補(bǔ)細(xì)分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(yīng)用于儀器儀表如視頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。
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